全自动扫描电镜样品制备  离子减薄仪

SC-2000概括

利用快速的剖面切削制备样品的横断面

通过表面细抛，最终研磨制备SEM或EBSD的样本

离子枪能量：标配100eV到10KeV，或可追加16keV超高能量离子枪

数码式参数设定和自动操作

可旋转和oscillation样本摇摆

可高精细定位加工样本的特定部位

配置高分辨CCD照相机，通过显示器实时观察抛光过程

通过Peltier制冷（SC-1000)或液氮制冷（SC-2000)保护样本受超负荷过热的影响

可选择多种样本支架适合各种大小的样本

SC-2000特征（1）

全自动多功能离子减薄仪SC-2000适应于材料学，半导体电子业的研究开发各种需求。

可用于剖面切削

也可适合表面研磨抛光，制备精致而无损伤的SEM/EBSD的样品

全自动控制操作，容易使用

嵌入式计算机系统，软件操作界面直观易用，便于初心者的简单设定，也适合高级用户变更设定减薄参数

按样品性质和制备要求，可以自由编程，保存，调出制样程序，或者设定预编程。避免人工操作的个体误差

快速制备无损样品

可选择从超低到超高能量的离子枪 (100 eV- 16 keV)（16 keV离子枪为可选项）

广范围离子能量的两个独立离子枪，即适合于快速切削（达530 µm/h@ 10 keV ），也适应于快速切削后的

表面无损细抛光（超低能量离子枪为专利产品）