K&S ARIS MD500主动减震台
专为精密仪器设计的主动震动隔离系统,设计轻巧而紧凑,易与安装的流线型设计,更方便定位的独立支撑模块,安装过程无需复杂的调校。有工程师,物理学家及精密仪器领域内的知名专家顾问共同研发
显著的降低了环境震动带来的干扰,使它成为精密仪器必不可少的配置。
大型场发射扫描电子显微镜或透射电子显微镜主动减震台:
TESACAN扫描电子显微镜镜 ZEISS蔡司扫描电子显微镜 Thermo Fisher(FEI)扫描电子显微镜 HITACHI日立扫描电子显微镜 JEOL日本电子扫描电子显微镜 Thermo Fisher(FEI)透射电子显微镜 HITACHI透射扫描电子显微镜 JEOL日本电子透射电子显微镜
应用方向:
用于降低或屏蔽地面附件的震动源给仪器的影响,由4-6个独立主动减震模块组成,进而屏蔽或减少地面震动对扫描电镜性能的影响。提供给扫描电子显微镜最佳的工作状态及分辨率。
应用效果:

技术指标:
通讯控制:支持1-8台独立模块,集中通讯控制
隔振性能:8dB gain on 1Hz(60-70%);20dB gain on 2Hz(≥90%)
隔振自由度:6个自由度
响应时间:≤0.01Sec
隔振性能:0.5~100Hz
模块尺寸:230×270×75mm
4组模块承载重量:500-2000Kg
8组模块承载重量:800-4000kg
MD500独立模块称重范围为100-500Kg