K&S ARIS TT系列专为精密仪器设计的主动减震台，易与安装的流线型设计，更方便定位的独立支撑模块，安装过程无需复杂的调校。有工程师，物理学家及精密仪器领域内的知名专家顾问共同研发显著的降低了环境震动带来的干扰，使它成为精密仪器必不可少的配置。

特殊内置振动筛模式：

确保精密仪器在不同场合的性能

可调整不同频率和振幅

模拟真实环境条件

验证精密机器内部部件对振动的响应

采用压电陶瓷传感器，精密控制对精

密仪器内部共振的影响

自适应对振动调整

提供给扫描电子显微镜最佳的工作状态及分辨率。

轻便紧凑型的桌面主动隔振系统,可抵消精密仪器

的不必要的振动.流线型的设计与精密仪器完美融

为一体,成为精密仪器的重要的一部分,简单的组合

无需后续复杂校准。

ARIS TT能够限制减少振动带来的干扰，使其作为

精密仪器的必不可少关键的配套工具。

应用效果：

技术指标：

隔振性能: 8dB gain on 1Hz(60-70%)

20dB gain on 2Hz(≥90%)

隔振自由度： 6个自由度

响应时间： ≤0.01Sec

隔振性能： 0.5-100Hz

模块尺寸： 230×270×75mm

承载重量： 15-200kg

平面结构设计，根据设备尺寸及负载选择合适型号，减震端子独立工作，更加灵活，稳定性更高，当 R M S小于4 5μm时，2 H z以上

减震效果大1 0倍；减震器行程更长,压电陶瓷在1 0 H z时＜2 0 0μm ( P - P ) .安装无需起重设备，直接放置于设备下方，减震台的高度

尺寸最大8 0 m m。

SEM/AFM显微镜主动隔振解决方案

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