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全自动扫描电镜样品制备  离子减薄仪

SC-2000概括

利用快速的剖面切削制备样品的横断面

通过表面细抛,最终研磨制备SEM或EBSD的样本

离子枪能量:标配100eV到10KeV,或可追加16keV超高能量离子枪

数码式参数设定和自动操作

可旋转和oscillation样本摇摆

可高精细定位加工样本的特定部位

配置高分辨CCD照相机,通过显示器实时观察抛光过程

通过Peltier制冷(SC-1000)或液氮制冷(SC-2000)保护样本受超负荷过热的影响

可选择多种样本支架适合各种大小的样本

SC-2000特征(1)

全自动多功能离子减薄仪SC-2000适应于材料学,半导体电子业的研究开发各种需求。

可用于剖面切削

也可适合表面研磨抛光,制备精致而无损伤的SEM/EBSD的样品

全自动控制操作,容易使用

嵌入式计算机系统,软件操作界面直观易用,便于初心者的简单设定,也适合高级用户变更设定减薄参数

按样品性质和制备要求,可以自由编程,保存,调出制样程序,或者设定预编程。避免人工操作的个体误差

快速制备无损样品

可选择从超低到超高能量的离子枪 (100 eV- 16 keV)(16 keV离子枪为可选项)

广范围离子能量的两个独立离子枪,即适合于快速切削(达530 µm/h@ 10 keV ),也适应于快速切削后的

表面无损细抛光(超低能量离子枪为专利产品)