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Agar 离子溅射仪

Agar 离子溅射仪
品牌 : Agar
产品详情
技术参数
仪器特点

Agar 全自动喷金仪离子溅射仪)为英国进口离子溅射仪设备,操作简单,适用于扫描电镜样品制备,可喷金、铂、金/钯、铂/钯、银等。

喷金仪使用小贴士:

1)需要溅射喷金的样品

a)第一类样品是电子束敏感的样品,主要包括生物样品,塑料样品等。SEM中的电子束具有较高能量,在与样品的相互作用过程中,它以热的形式将部分能量传递给样品。如果样品是对电子束敏感的材料,那这种相互作用会破坏部分甚至整个样品结构。这种情况下,用一种非电子束敏感材料制备的表面镀层就可以起到保护层的作用,防止此类损伤;

b)另一类样品是非导电的样品,由于样品不导电,其表面带有“电子陷阱”,这种表面上的电子积累被称为“充电”。为了消除荷电效应,可在样品表面镀一层金属导电层,镀层作为一个导电通道,将充电电子从材料表面转移走,消除荷电效应。在扫描电镜成像时,溅射材料可以增加信噪比,从而获得更好的成像质量。

2)溅射材料

常用的溅射材料为金,导电性高。

喷金仪的真空度越高,所溅射的金属颗粒越小,可以减少样品表面形貌失真的情况。当需要超高分辨率成像时,首选高真空喷金仪,同时还可以选用其他溅射材料,如:铬,铱等,溅射的晶粒更细小。

此外,如果需要做EDS能谱分析的话,建议选择喷碳仪,因碳的X射线峰不会与其他元素的峰值发生冲突。



技术参数

样品室玻璃腔体尺寸

120mmφ*120mmH,高强度不锈钢结构(可选150mm*265mm)

样品台尺寸   

可放置12个标准钉型样品台,高度可在60mm内调节

溅射头   

低电压平面磁控管,靶材更换快捷,环绕暗区护罩

溅射靶材

金(标配),铂,金/钯,银等

靶材尺寸   

直径57mm*0.1

溅射控制系统

微处理器控制,远程电流/电压感应,最大电流40mA,程序化数字控制;提供真空安全联锁装置,配有过流保护

模拟计量

真空Atm-0.001mb 电流0-50mA

控制方式

自动气体换气和放气功能,带有“暂停”控制的数字定时器(0-300s)

机械泵   

2L/s

工作媒介气体   

氩气,纯度最低99.9%

工作电压   

220V.50/60HZ

膜厚监控仪(选配)

通过6MHZ石英晶体进行原位监控,显示纳米级厚度,可精确到0.1mm

适用配套

Zeiss,JEOL,Hitach。FEI,Tescan,Phenom等扫描电镜



喷金仪使用小贴士:

1)需要溅射喷金的样品

a)第一类样品是电子束敏感的样品,主要包括生物样品,塑料样品等。SEM中的电子束具有较高能量,在与样品的相互作用过程中,它以热的形式将部分能量传递给样品。如果样品是对电子束敏感的材料,那这种相互作用会破坏部分甚至整个样品结构。这种情况下,用一种非电子束敏感材料制备的表面镀层就可以起到保护层的作用,防止此类损伤;

b)另一类样品是非导电的样品,由于样品不导电,其表面带有“电子陷阱”,这种表面上的电子积累被称为“充电”。为了消除荷电效应,可在样品表面镀一层金属导电层,镀层作为一个导电通道,将充电电子从材料表面转移走,消除荷电效应。在扫描电镜成像时,溅射材料可以增加信噪比,从而获得更好的成像质量。

2)溅射材料

常用的溅射材料为金,导电性高。

喷金仪的真空度越高,所溅射的金属颗粒越小,可以减少样品表面形貌失真的情况。当需要超高分辨率成像时,首选高真空喷金仪,同时还可以选用其他溅射材料,如:铬,铱等,溅射的晶粒更细小。