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电子束感应电流(EBIC)
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技术参数
仪器特点

   我们EBIC成像和分析提供完整的解决方案。们可以提供一个自定义包,它包含了在扫描电子显微镜下进行EBIC一切所需要的测量。

Hardware

                                                                                                                      Mighty EBIC 2.0

EBIC2.0硬件1.png我们的扫描控制器,强大的EBIC 2.0,是专门为测量非常低的EBIC信号而设计的。



☆在最高增益设置下最高实现飞秒级灵敏度(0.76 fA分辨率)


☆每个增益设置的宽动态范围108 dB


☆8成像输入与所有+-10 V信号兼容,SE,BSE,CL,lck-in amplifiers,等等。


☆能够实现快速取样,转移样品




EBIC2.0硬件样品支架.pngSample Holders

我们设计了许多不同类型Sample Holders。我们的通用Sample Holders允许在一个芯片载体上测试多个设备。


☆芯片载体的多触点可以用一个倾角开关进行编程


☆法拉第杯可调到样品高度


☆同轴连接器,用于添加屏蔽


☆此Sample Holders几乎可以适应任何扫描电子显微镜的阶段


我们还可以为您的特别设计一个应用程序支持不同的芯片载体和样品支架。




EBIC2.0硬件前置放大器.pngPre-Amplifier


FEMTO为EBIC测量提供最好的前置放大器。结合我们的扫描控制器,你可以用0.76 fA的分辨率进行定量电流测量。


☆Transimpedance gain from 1E3 to 1E11 V/A

☆Input noise down to 4.3 fA/√Hz

☆AC and DC coupling

☆Bandwidth up to 500 kHz


EBIC2.0硬件manual wire bonders.pngManual Wire Bonders

用微定位器和可翻转的镊子将金属丝连接在导电环氧树脂上。


☆能够确保制样快速简单,防止出现制样过程出现样品损坏。


☆温和加工,导电环氧树脂可在环境条件下固化。







Software

ebic 显示照片.png

我们的成像和分析套件被设计成灵活的,可以处理许多不同类型的信号输入。


☆Channel mixing, of input channels

☆2D and 3D plots with mayavi2 and matplotlib

☆Extract diffusion lengths with line profile tool.

☆Software Design Kit (SDK), is installed on the host pc

☆Unlimited software client installations