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产品详情

Safematic CCU-010HV高真空离子溅射仪

Safematic CCU-010HV高真空离子溅射仪
品牌 : Safematic
型号 : CCU-010
产地 : 瑞士
产品详情
技术参数
仪器特点

智能模块化设计

   CCU-010是一种紧凑型全自动高真空离子溅射仪,同时可以通过更换靶头作为高真空碳镀膜机进行使用,使用非常简单。由于独特的插件概念,该设备很容易配置溅射或蒸发,只需更换工艺头。涂层前后可进行等离子处理。模块化设计使得避免金属和碳沉积之间的交叉污染变得容易。CCU-010有一个静态样品台,包括高度调节和倾斜。它可以安装一个可选的变速旋转阶段或旋转行星阶段,每个选择持有不同的样本和存根类型。在所有样品阶段,膜厚监测都作为标准。



多样性的真空互联

  CCU-010HV高真空离子溅射仪覆盖了所有最高性能的扫描电子显微镜、透射电镜和薄膜应用。模块化设计让常规真空系统转换到高真空系统非常方便。

简单操作、维护方便

  打开包装,连接并启动!即插即用的概念允许您自己启动设备。你只需要接通电源和处理气体。通过集成的USB服务接口,服务技术人员可以通过互联网连接在现场或远程运行快速错误分析。模块化设置允许直接更换有缺陷的部件。

 ccu-010-局部照2.jpgccu-010-工作照2.jpg

操作简单、维护方便

打开包装,连接并启动!即插即用的概念允许您自己启动设备。你只需要接通电源和处理气体。通过集成的USB服务接口,服务技术人员可以通过互联网连接在现场或远程运行快速错误分析。模块化设置允许直接更换有缺陷的部件。

•自动阀门控制两种气体的排放过程。

•可选择速度控制旋转或行星齿轮台,用于固定不同类型的试样和样品台。

•视觉化设计的用户软件界面,具有多种一键功能操作。

•基于Windows软件的涂层软件LAB,可以进行数字化的涂层结构编辑。

•如果系统关闭或断电(如果使用无油泵操作),您可以保持系统处于真空状态。

•在断电情况下自动排放系统的功能,防止系统受到备用泵油的污染(如果使用油封泵操作•简单的插入式电气和气动接口,用于将涂层头连接至基本单元,允许在几秒钟内在模块之间进行交换。

•程序会自动识别并将调出所需要的菜单。




技术指标



外形尺寸:



580×360×350mm


真空测量:


皮拉尼计和冷阴极压力计


仪器重量:



32kg


控制模式:


自动触摸屏Windows软件系统


电源要求



100-240VAC


靶材尺寸:


φ54mm   


仓室尺寸:



φ120


溅射电流:


10-100mA


真空泵:



集成式涡轮分子泵


溅射时间:


≤900s


极限真空:


2×10^(-6)mbar/2×10^(-4)Pa


供气选项:


氩气、氮气、空气等可选



技术指标:


外形尺寸:



580×360×350mm


真空测量:


皮拉尼计和冷阴极压力计


仪器重量:



32kg


控制模式:


自动触摸屏Windows软件系统


电源要求



100-240VAC


靶材尺寸:


φ54mm   


仓室尺寸:



φ120


溅射电流:


10-100mA


真空泵:



集成涡轮分子泵


溅射时间:


≤900s


极限真空:


2×10^(-6)mbar/2×10^(-4)Pa


供气选项:


氩气、氮气、空气等可选



仪器特点:

•自动阀门控制两种气体的排放过程

•可选择速度控制旋转或行星齿轮台,用于固定不同类型的试样和样品台。

•视觉化设计的用户软件界面,具有多种一键功能操作。

•基于Windows软件的涂层软件LAB,可以进行数字化的涂层结构编辑。

•如果系统关闭或断电(如果使用无油泵操作),您可以保持系统处于真空状态。

•在断电情况下自动排放系统的功能,防止系统受到备用泵油的污染(如果使用油封泵操作)

•简单的插入式电气和气动接口,用于将涂层头连接至基本单元,允许在几秒钟内在模块之间进行交换。

•程序会自动识别并将调出所需要的菜单

•技术领先、瑞士制造

仪器特点:

•自动阀门控制两种气体的排放过程。

•可选择速度控制旋转或行星齿轮台,用于固定不同类型的试样和样品台。

•视觉化设计的用户软件界面,具有多种一键功能操作。

•基于Windows软件的涂层软件LAB,可以进行数字化的涂层结构编辑。

•如果系统关闭或断电(如果使用无油泵操作),您可以保持系统处于真空状态。

•在断电情况下自动排放系统的功能,防止系统受到备用泵油的污染(如果使用油封泵操作)

•简单的插入式电气和气动接口,用于将涂层头连接至基本单元,允许在几秒钟内在模块之间进行交换。

•程序会自动识别并将调出所需要的菜单

•技术领先、瑞士制造