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SP-010溅射模块-CCU010HV高真空离子溅射仪

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技术参数
仪器特点

   

   SP-010溅射模块主要配置与CUU-010HV高真空离子溅射仪所进行使用,此款模块结构简单可靠,具备在高真空下进行高质量溅射镀膜需要,此模块把磁控管、靶材、挡板、工艺压力调节器和电源器件完全整合到一个独特的、耐用的装置中,装置准备就绪,随时可以运行,并且便于维护。通过创新性的接口供电、供气和传送信号,只需一项手动操作,就可以把系统设置成溅射装置。

   SP-010溅射头的磁控管是为优化目标使用而设计的。这使得它成为电子显微镜下精细贵金属薄膜的完美工具。对于最小粒径的涂层,需要涡轮泵结合CCU-010高压系统。



SP-010溅射模块.png   SP-010溅射模块工作照片.png


模块特点:

·   以电子方式控制工艺真空度,确保容器内压力稳定。
·   设有环形气孔,确保工作气体分布均匀。
·   对碎片进行探测和监控,确保安全操作。
·   具备靶材冷却功能,带有温度监测,确保运行顺畅。
·   采用统一的电气和气体接口,与CCU-010 HV和CCU-010 LV主体机配套使用。

指 标 参 数


     外形尺寸: 250× 160×80 (mm)        模块重量   :3.1kg

     靶材尺寸: 54                                     控制模式: 微处理器控制

     最大功率: 45W                                  溅射电流: ≤100 mA

     溅射时间: ≤900s                                溅射气体 : 氩气、空气等(可选)




指 标 参 数


     外形尺寸: 250× 160×80 (mm)        模块重量   :3.1kg

     靶材尺寸: 54                                     控制模式: 微处理器控制

     最大功率: 45W                                  溅射电流: ≤100 mA

     溅射时间: ≤900s                                溅射气体 : 氩气、空气等(可选)

    


模块特点:

·   以电子方式控制工艺真空度,确保容器内压力稳定。
·   设有环形气孔,确保工作气体分布均匀。
·   对碎片进行探测和监控,确保安全操作。
·   具备靶材冷却功能,带有温度监测,确保运行顺畅。
·   采用统一的电气和气体接口,与CCU-010 HV和CCU-010 LV主体机配套使用。