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CT-010喷碳模块-CUU-010高真空喷金仪

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技术参数
仪器特点

   

   CT-010喷碳模块主要应用于CUU-010高真空喷金仪,这种集成化设计的插入式碳蒸发模块为碳涂层设定了新的标准。CT-010模块可以插入CCU-010低压和CCU-010 高压基本单元,立即准备就绪。应用包括扫描电镜,透射电镜和任何其他需要高质量碳膜的工艺。

   CT- 010采用专利,独特和技术领先的碳纤维缠绕系统。这样就可以在不改变碳源的情况下进行多达50次的涂层。曾经一次 碳纤维部分已蒸发,一个新的部分被自动推进,废纤维落入一个方便的集水盘。除了易 于使用外,自动缠绕系统还允许在一个工艺循环中控制沉积任何厚度的碳膜。易于选择的涂层模式可实 现安全的涂层,从温敏样品薄膜的温和蒸发到具有 高功率,适用于光纤应用中的厚层。智能功率控制与 脉冲蒸发、自动快门后面的脱气和膜厚监测相结合,提供准确的层厚,并避免任何可能导致表面不均匀的起泡现象。

CT-010溅射模块工作照片.png   CT-010溅射模块工作曲线.png

模块特点:

       ·   采用创新性的自动跟踪系统(专li技术)监控zui多2米长的碳丝,通过卷轴收放碳丝。
       ·   以“常规”和“柔和”模式发送脉冲电涌,非常容易地在样品上实现快速镀膜和高精度碳镀膜,以满足各种需要。
       ·   设有气体控制器,把用于辉光放电的空气精确地输送到基片的表面上。
       ·   通过精确地等离子体输出控制,可以广泛应用在改造各种
样品的表面性质上。

       ·   采用统一的电气和气体接口,与CCU-010 HV和CCU-010 LV主体机配套使用。

指 标 参 数


     外形尺寸: 250× 160×80 (mm)        模块重量   :2.6kg

     靶材尺寸: 碳绳                                   控制模式: 微处理器控制

     最大功率: 450W                                  溅射电流: 10-20A

     溅射时间: ≤900s                                溅射气体 : 氩气、空气等(可选)



指 标 参 数


     外形尺寸: 250× 160×80 (mm)        模块重量   :2.6kg

     靶材尺寸: 碳绳                                   控制模式: 微处理器控制

     最大功率: 450W                                  溅射电流: 10-20A

     溅射时间: ≤900s                                溅射气体 : 氩气、空气等(可选)


模块特点:

       ·   采用创新性的自动跟踪系统(专li技术)监控zui多2米长的碳丝,通过卷轴收放碳丝。
       ·   以“常规”和“柔和”模式发送脉冲电涌,非常容易地在样品上实现快速镀膜和高精度碳镀膜,以满足各种需要。
       ·   设有气体控制器,把用于辉光放电的空气精确地输送到基片的表面上。
       ·   通过精确地等离子体输出控制,可以广泛应用在改造各种
样品的表面性质上。

       ·   采用统一的电气和气体接口,与CCU-010 HV和CCU-010 LV主体机配套使用。